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探针压力对四探针法测量银薄膜电阻率的影响

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本文用四探针法测量了220纳米厚的银薄膜的电阻率,研究了探针压力对银薄膜电阻率的影响.结果表明:随着探针压力从1.47 牛顿增大到4.41牛顿,银薄膜的电阻率略微增大,最大探针压力时的电阻率比最小探针压力时的电阻率大约增加了7%.

著录项

来源
《科技创新导报》 |2010年第28期|98-99|共2页
作者
邱邃宇; 于明鹏; 邱宏;
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作者单位

清华大学附属中学高一(3)班;

北京科技大学物理系,北京,100083;

北京科技大学物理系,北京,100083;

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正文语种 chi
中图分类薄膜物理学;
关键词
四探针法; 探针压力; 银薄膜; 电阻率;

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