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浅议微机电系统(MEMS)技术的发展与应用

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摘要

本文论述了微机械的概念、特点、研究概况和微机械的加工制造技术一微细加工技术.阐速了微机械与微/纳米科技、微电子技术之间的相互关系.分析了微机械研究的发展趋势及应用热点.

著录项

来源
《科教导刊：电子版》 |2020年第13期|270-270|共1页
作者
杨郁;
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作者单位

徐州巴特工程机械股份有限公司;

江苏徐州221004;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类自动控制、自动控制系统;
关键词
微机电系统; MEMS; 微机械加工;

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