Al-N共掺杂制备ZnO薄膜及其性能研究

赵文海; 李敏君; 赵祥敏; 张伟

首页> 中文期刊> 《科技视界》 >Al-N共掺杂制备ZnO薄膜及其性能研究

Al-N共掺杂制备ZnO薄膜及其性能研究

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

运用真空射频磁控溅射[1]反应系统(JGPS00D1)进行薄膜沉积,在经过镜面抛光过的Si单晶片衬底上[2],利用掺杂质量2％Al的ZnC∶Al陶瓷靶(纯度为99.99％),采用施主-受主共掺杂的方法,在N2于Ar体积比1∶1的混和气体的气氛下,制备了Al-N共掺杂的ZnO薄膜.探讨了掺杂对薄膜晶体结构、表面形貌及电学性能影响.

著录项

来源
《科技视界》 |2012年第32期|2346|共2页
作者
赵文海; 李敏君; 赵祥敏; 张伟;
展开▼
作者单位

牡丹江师范学院黑龙江牡丹江 157012;

牡丹江师范学院新型碳基功能与超硬材料省级重点实验室黑龙江牡丹江157012;

牡丹江师范学院黑龙江牡丹江 157012;

牡丹江师范学院黑龙江牡丹江 157012;

牡丹江师范学院黑龙江牡丹江 157012;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类
关键词
AL-N共掺杂; ZnO薄膜; 磁控溅射;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. Al-N共掺杂型ZnO薄膜的制备及其性能研究 [J] . 许莹 ,王娟 ,窦玉博 . 材料工程 . 2010,第011期
2. N2流量对HiPIMS制备Al-N共掺杂ZnO薄膜的性能影响 [J] . 李倩 ,张玉琛 ,王正铎 . 真空与低温 . 2019,第006期
3. 离子束增强沉积Al-N共掺杂ZnO薄膜的制备 [J] . 谢建生 ,李金华 ,袁宁一 . 常州大学学报（自然科学版） . 2005,第004期
4. Na-Mg共掺杂ZnO薄膜的溶胶凝胶法制备及性能研究 [J] . 刘细妹 ,胡跃辉 ,陈义川 . 陶瓷学报 . 2014,第003期
5. Al、Sn共掺杂ZnO薄膜（ZATO）的制备及性能研究 [J] . 胡仁杰 ,李合琴 ,李辉 . 合肥工业大学学报（自然科学版） . 2013,第012期
6. 溶胶-凝胶法制备Al-Y共掺杂ZnO薄膜及其性能研究 [C] . 阳生红 ,张日理 ,汤健 . 第七届中国功能材料及其应用学术会议 . 2010
7. Al-N共掺杂ZnO薄膜的制备及其光电性质的研究 [A] . 王月飞 . 2017

Al-N共掺杂制备ZnO薄膜及其性能研究

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅