紫外技术可降低芯片成本

盛柏桢

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紫外技术可降低芯片成本

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正预期一种新紫外技术将降低制造半导体的成本,这样可制造出更小、更快的芯片。一组国际研究人员最近获得了该技术的专利。他们说这将影响半导体工业——可能是紫外光最大的商业应用——以及其它由紫外光通过光化学方式改变材料领域的主要进展。新紫外光产生技术直接应用于半导体生产,Murnick 与德国慕尼黑技术大学的研究人员研究这种方法,该技术使用一个比大气紫外光短或者是"深紫外"的波长。有不同的方法检查正在进行的工作、清除纳米尺度的杂质和粉尘。这是下一代器件需

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来源
《半导体信息》 |2003年第2期|P.43-44|共2页
作者
盛柏桢;
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作者单位

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类电子工业;
关键词
紫外技术; 半导体生产; 半导体工业; 芯片成本; 半导体市场; 技术使用; 人员研究; 价格竞争; 角膜手术; 紫外激光器;

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