新型GaAlAs/GaAs微机械热调谐垂直滤波器

郑冬冬

首页> 中文期刊> 《半导体信息》 >新型GaAlAs/GaAs微机械热调谐垂直滤波器

新型GaAlAs/GaAs微机械热调谐垂直滤波器

开具论文收录证明 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

正基于微电子机械系统的可调谐滤波器和垂直腔表面发射激光器具有宽的连续调谐范围、无偏振灵敏工作和二维陈列集成的独特性能,因而已引起极大关注。但它的一大缺点是需要几十伏的调谐电压,此外由于微机械悬臂是通过静电力向下移动,其实际移动距离仅为实际宽度1/3,所以这种采用静电力的 MEMS 基滤波器的最大调谐范围受到限制。日本东京技术研究所的微系统研究中心首次研制成功一种具有低调谐电压的新型GaAlAs/GaAs 微机械热调谐垂直腔滤波器,由于热应变控制层与加热元件的集成,具有创记录的低至4.7 V 的调谐电压,并可获得23.2 nm 的波长调谐。该器件是在上下两层 GaAlAs/OaAs DRB 之间形成一个空气隙,在上 GaAlAs/GaAs DRB 上有 GaAs 或 GaAlAs 热应变控制层,当施加电压时热应变导致微机械悬臂的移动。当热应变控制层为热膨胀系数较小的 GaAlAs 时,悬臂向上移动。反之,为热膨胀

著录项

来源
《半导体信息》 |2003年第2期|P.37-38|共2页
作者
郑冬冬;
展开▼
作者单位

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类滤波技术、滤波器;
关键词
GaAlAs/GaAs 微机械调谐范围热应变可调谐微电子机械系统加热元件热膨胀系数空气隙应变控制;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. GaAs/GaAlAs量子阱激子能量调谐的新方法 [J] . 徐仲英 ,王建农 ,王玉琪 . 半导体学报：英文版 . 1999,第6期
2. GaAlAs/GaAs平面波导串联矩形谐振腔滤波器的研究 [J] . 蔡纯 ,刘旭 ,肖金标 . 中国工程科学 . 2004,第002期
3. GaAs／GaAlAs低阈值垂直腔面发射激光器 [J] . 林世鸣 ,王启明 . 高技术通讯 . 1994,第010期
4. 新型可调谐的微环滤波器的制作与性能测试 [J] . 申小萌 . 传感器与微系统 . 2021,第011期
5. 基于表面等离子激元的新型可调谐微共振环滤波器分析 [J] . 杨翼然 ,蔡祥宝 ,连艳杰 . 电子元器件应用 . 2010,第003期
6. 热光可调谐级联微环滤波器的理论分析 [C] . 任光辉 ,陈少武 ,曹彤彤 . 2011年全国硅基光电子材料及器件研讨会 . 2011
7. 基于硅基微环谐振腔的热光调谐滤波器及其特性研究 [A] . 胡野 . 2010

新型GaAlAs/GaAs微机械热调谐垂直滤波器

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅