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微型机械及微型传感器在日本市场的发展状况

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本文介绍了近几年日本微型机械技术和微型传感器技术的主要进步，详细介绍了“微型机械”项目的进展情况，及其所涉及的各种新技术。

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来源
《传感器世界》 |1999年第9期|1-6|共6页
作者

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作者单位

无;

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正文语种 CHI
中图分类 TP212;
关键词
微型机械; 微切削; 微型传感器; 日本;

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