三氯氢硅除硼吸附性能研究

田新; 于跃; 吴锋

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利用固体吸附剂来去除三氯氢硅(TCS)中的极性杂质硼是电子级多晶硅的生产领域中是一种比较有效方法.本文利用四氯化铂作为吸附质,以层析硅胶作为载体,制备出一种载体型除硼吸附剂.并将其应用于吸附三氯氢硅中的硼杂质,考察其吸附性能.实验结果表明:制备的硅胶/四氯化铂载体型除硼吸附剂具有明显的除硼吸附效果.

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来源
《山东化工》 |2017年第19期|29-30|共2页
作者
田新; 于跃; 吴锋;
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作者单位

江苏鑫华半导体材料科技有限公司,江苏徐州 221004;

江苏鑫华半导体材料科技有限公司,江苏徐州 221004;

江苏鑫华半导体材料科技有限公司,江苏徐州 221004;

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正文语种 chi
中图分类硅及其无机化合物;
关键词
三氯氢硅; 载体硅胶; 吸附;

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