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多晶硅的质量控制

         

摘要

在多晶硅生产过程中诸多因素影响了最终产品的质量,为了更好地控制好产品的质量,本文论述了影响多晶硅质量的因素,其中着重对多晶硅生产中的高纯氢气、精馏工序、还原工序等几方面对多晶硅质量产生的影响进行了探讨并分析其产生的原因.在文中结合多晶硅生产实际提出了相应的控制措施,以便为相关从业者提供参考.

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