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多晶硅还原炉产能影响因素分析及提升措施

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摘要

三氯氢硅还原是改良西门子法生产多晶硅的关键步骤,还原炉的产能能否达到设计甚至超出设计水平,对企业达产达标,降低成本,产品质量的稳定有很大影响.文章通过分析影响还原炉产能因素并提出了提升措施.

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来源
《山东化工》 |2019年第9期|143-144|共2页
作者
宋张佐;
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作者单位

云南能投化工有限责任公司;

云南昆明 650100;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类硅Si;
关键词
多晶硅; 还原炉; 产能; 措施;

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