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使用双轴微磁通门传感器的电子罗经

         

摘要

介绍了一种由硅基MEMS制造的微磁通门传感器。为了测量X和Y轴的磁场,两个磁通门传感器互相垂直定位。该磁通门传感器由矩形环铁芯、励磁螺线管和传感线圈组成.用阴极真空喷镀Ni0.8Fe0.2晶粒层,2微米厚的Ni0.8Fe0.2(强磁性铁镍合金)磁芯层被镀成光敏抗蚀剂结构.制好的磁通门芯片尺寸为4.5×2.7mm2.在2.8Vp-p和1.2MHz的励磁方波下,在-100μT到+100μT的范围内具有良好的线性响应,同时可得到210V/T的灵敏度。当双轴磁通门传感器运转在地磁场时,来自X轴和Y轴的感应二次谐波电压分别是不失真的正弦波和余弦波.这对于包括指北及地形匹配、军事研究、医学研究和太空研究在内的便携式导航系统的商业化来说是非常有用的.

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