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声表面波气体传感器技术

         

摘要

叙述了声表面波(SAW)技术发展历史及其在气体传感器领域的技术现状和发展趋势.介绍了延迟线型(SAWDL)和谐振器型(SAWR)两种振荡器结构及技术优缺点;介绍了基于气相色谱柱分离气体组分--声表面波气体传感器定性、定量检测气体的一种新型的气体检测技术.

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