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不锈钢靶材磁控溅射的研究

         

摘要

本文概述了用引拉法测定不锈钢靶材磁控溅射薄膜结合力的试验,以及试验所用材料和方法,并对其结果进行分析,得到最佳工艺参数值为基材加热温度800℃、氩压533×10^-8、偏压-200V、溅射时间1.0-2.0h。

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