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氦逆扩散质谱检漏法和卤素检漏法在大型低温容器真空检漏中的应用

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氦逆扩散质谱检漏法和卤素检漏法成功地解决了低真空度下容器检漏难题，并在大型低温容器真空检汛领域中得到了实践应用，取得了较好的效果。

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来源
《四川真空》 |1995年第2期|27-32|共6页
作者
呈同文; 熊建球;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类真空检漏与仪器;
关键词
低温容器; 真空检漏; 卤素检漏法; 氦质谱检漏法;

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