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现代高纯水

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摘要

论述了超大规模集成电路与高纯水的关系以及对水质的要求;研究了高纯水制备的几个关键新技术及提高高纯水质量的方法,该方法能有效地降低高纯水中的总有机碳、细菌、细菌内毒素、溶解氧等;讨论了高纯水常用各种管材的污染,并列举了大量数据和应用实例.

著录项

来源
《中国工程科学》 |2000年第1期|68-72|共5页
作者
闻瑞梅;
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作者单位

中国科学院半导体研究所,北京,100083;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类微电子学、集成电路（IC）;
关键词
高纯水; 超大规模集成电路; 总有机碳; 细菌; 溶解氧;

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