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叉指电容传感特性及应用研究

         

摘要

通过COMSOL Multiphysics仿真软件建立叉指电容传感器的二维模型,运用施瓦茨-克里斯托费尔平面映射及保角变换法得到叉指电容在边缘效应影响下的计算公式。详细分析了电极覆盖率、电极宽度以及电极厚度等关键参数对传感特性的影响,并给出参数设计的最优方案,针对典型应用领域进行原理分析及模拟仿真。结果表明,基于叉指电极的传感器灵敏度高,可靠性好,为传感器的设计和检测技术提供了必要的参考。

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