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张龙;
技术中心;
电极; 辅助电极; 结晶器; 电渣;
机译:使用高精度气体控制器检查Al_2O_3的ALD沉积过程中的工艺温度
机译:工艺温度对采用TDMAT前驱体的等离子增强ALD TiN金属栅极的ALD HfO2 MOS器件功函数调制的影响
机译:120t三相电渣炉的结构改造和恒定重熔速度控制
机译:与传统的基于TEMAZr的ALD工艺相比,在更高的工艺温度下ZrO_2的高度共形ALD
机译:化合物半导体 薄膜的 电 使用 E- ALD工艺
机译:萨克勒关于创造力与协作的座谈会:重新探讨控制论的偶然性:思维工具之间的相关性;艺术手工艺和设计爱好;和STEMM专业人士的科学成就
机译:压力管道安装焊接工艺质量控制探讨
机译:桑迪亚国家实验室环境试验室微机控制通信网络
机译:用于ALD / CVD工艺的ALD / CVD反应物输送系统
机译:用于原子层沉积(ALD)和化学气相沉积(CVD)和使用相同的ALD / CVD工艺的前体化合物
机译:ALD / CVD工艺中GST薄膜的ALD / CVD GST前体
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