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化学气相沉积(CVD)法制备先进陶瓷材料

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cqvip:先进陶瓷材料具有许多优异的性能,如高比强度、高比模量、密度低、硬度高、耐腐蚀、抗氧化等,从而被广泛用作高温结构部件。化学气相沉积()法工艺能制备诸如碳化物、氮化物、硼化物、氧化物等CVD多种陶瓷,因而具有广阔的应用前景。

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来源
《高科技纤维与应用》 |2002年第2期|16-20|共5页
作者
刘荣军; 周新贵; 张长瑞; 曹英斌;
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作者单位

国防科技大学航天与材料工程学院国防科技重点实验室湖南长沙 410073;

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正文语种 chi
中图分类 TQ174.75+8.12;
关键词
CVD; 先进陶瓷;

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