首页> 中文期刊> 《科技创新与应用》 >Ag厚度对其反射率的影响

Ag厚度对其反射率的影响

         

摘要

采用射频磁控溅射方法在石英片上生长不同厚度Ag薄膜,测试了Ag膜反射率变化随厚度的变化关系,利用AFM和SEM分别研究Ag膜厚度对其表面粗糙度和形貌的影响.结果表明:Ag厚度在130nm以下时,随着厚度的增加,透射率急剧下降,其反射率逐渐增加;当厚度超过130nm时,透射率不再变化,由于表面RMS的增加使得散射损耗增大,使得其反射率随着厚度增加而减小.

著录项

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号