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聚苯乙烯基体上低介电常数介孔二氧化硅膜的制备

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摘要

以氨水为催化剂,采用溶胶-凝胶法在聚苯乙烯基体上制备了介孔二氧化硅薄膜。用红外光谱、小角XRD、扫描电子显微电镜(SEM)和高分辨透射电子显微镜(HRTEM)对样品进行了表征,并对其机理进行了探讨。结果表明,制得的二氧化硅薄膜连续、无缺陷,且孔道呈蠕虫状。

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来源
《科技创新与应用》 |2012年第8z期|8-9|共2页
作者
李方玉;
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作者单位

沈阳市环境保护工程设计研究院;

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正文语种 chi
中图分类催化剂;
关键词
薄膜; 多孔; 介孔二氧化硅膜; 聚苯乙烯;

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