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赵永新; 肖梦柏; 周晓斌; 黄广新; 陈爱兵;
乐健科技珠海有限公司 广东 珠海 519180;
电镀边缘效应; 陶瓷; 框架设计; 电镀均匀性; 黏连;
机译:研究用于改善高纵横比通孔电镀铜的硅基材料润湿性的表面处理工艺
机译:混合均匀性及其对软磁陶瓷制造工艺和性能的影响
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机译:使用PVD两步氮化钛阻挡层工艺的优势,以及由于钨膜的不均匀性,钨膜沉积产生的残留副产物对工艺集成的影响。
机译:微型Schlieren技术分析微流体装置中的混合不均匀性
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机译:在图案化介电层上电镀铜以增强后续CMP工艺的工艺均匀性的方法
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