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离子辅助沉积TiO2/SiO2多层膜雾度分析的研究

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摘要

氧化钛膜层具有较高的折射率和出色的紫外吸收特性,广泛应用于UV/IR Cut滤光片的制备中.但是在TiO2/SiO2多层膜的制备中常常遇到雾度偏高的困扰,本文采用离子辅助沉积技术制备TiO2/SiO2多层膜,研究分析了相关工艺参数对沉积膜层雾度的影响,能够制备出较低雾度的薄膜样品.

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来源
《科技风》 |2017年第5期|247-248|共2页
作者
王昆;
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作者单位

西安工业大学陕西西安710021;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
氧化钛; 滤光片; 离子辅助沉积; 雾度;

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