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毫米波基片的高精度制作技术

         

摘要

本文介绍毫米波基片的高精度制作技术,重点涉及精确传输线的高精度制作方法.该方法突破了传统掩膜版光刻制作精细线路的瓶颈,得到了合格的产品.

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