• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 中文期刊> 《传感器与微系统》 >基于柔性微电极的高灵敏度MEMS电化学地震检波器

基于柔性微电极的高灵敏度MEMS电化学地震检波器

         
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

为了进一步降低微机电系统(MEMS)电化学地震检波器敏感电极的加工成本,提升传感器的灵敏度,推动其在地球物理勘探等领域的发展,提出了一种基于柔性微电极结构的新型MEMS电化学地震检波器.与基于硅衬底制作敏感电极相比,敏感电极的制作方法可以通过有效减小电极间距,大幅度提升传感器的灵敏度,大幅降低工艺成本.介绍了柔性微电极的加工工艺流程,并对传感器的性能进行了测试.结果表明:提出的地震检波器较基于硅衬底微电极器件灵敏度提高了一个数量级.%In order to further decrease cost of sensing electrodes of electrochemical seismometer,and increase its sensitivity,promoting its development in the field of geophysical exploration,a MEMS-based electrochemical seismic sensor based on flexible microelectrodes is presented.Compared with silicon-based fabrication process,the proposed fabrication process of the microelectrodes can effectively decrease the cost and reduce intervals between the electrodes,leading to a significantly increase in the sensitivity of the device. Fabrication process of the proposed flexible microelectrodes is introduced and the performance of the proposed device is test. Test result demonstrates that the sensitivity is one order higher than that of silicon-based counterpart.

著录项

  • 来源
    《传感器与微系统》 |2018年第5期|10-12|共3页
  • 作者

    孙振源; 李光磊; 陈连宏; 陈健; 陈德勇; 王军波;

  • 作者单位

    中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京100190;

    中国科学院大学,北京100039;

    中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京100190;

    中国科学院大学,北京100039;

    中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京100190;

    中国科学院大学,北京100039;

    中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京100190;

    中国科学院大学,北京100039;

    中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京100190;

    中国科学院大学,北京100039;

    中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京100190;

    中国科学院大学,北京100039;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 TP212.1;
  • 关键词

    电化学地震检波器; 微机电系统; 柔性电极; 高灵敏度;

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号