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新型电热式MEMS光开关设计与仿真分析

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摘要

在综合比较各类光开关基础上,提出一种新的M型电热式微机电系统(MEMS)光开关结构,并对结构的可行性进行理论分析和多物理场仿真,通过对光开关驱动部分的驱动位移、温度分布、应力应变实验数据的分析,确定了光开关结构的可行性.

著录项

来源
《传感器与微系统》 |2018年第10期|79-81|共3页
作者
肖杰; 陆安江; 黄子吉;
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作者单位

贵州大学大数据与信息工程学院,贵州贵阳550025;

贵州大学大数据与信息工程学院,贵州贵阳550025;

贵州大学大数据与信息工程学院,贵州贵阳550025;

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正文语种 chi
中图分类结构;
关键词
全光网络; 微机电系统; 电热式; 光开关;

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