枕型PSD动态响应特性研究

尚鸿雁

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枕型PSD动态响应特性研究

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建立了S1880枕型位置敏感探测器(PSD)的有限元仿真模型,并对其动态响应特性进行了仿真,得到了3个扫描速度下的动态响应误差曲线,通过分析得出结论:PSD产生的动态响应误差随着扫描速度的增大而增大,在光敏面中心线上沿x轴方向匀速直线扫描时,PSD的动态响应误差最大值之比近似等于相应的光源扫描速度之比.仿真结果对枕型PSD的实际工程应用具有一定实用价值.

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来源
《传感器与微系统》 |2007年第3期|34-36|共3页
作者
尚鸿雁;
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作者单位

上海海事大学,电气与自动化系,上海,200135;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光检测技术;
关键词
枕型; 位置敏感探测器; 有限元; 动态响应特性; 响应误差;

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