厚膜压阻式传感器用钌系电阻器导电性能研究

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• 来源
  《传感器与微系统》 |2006年第1期|33-35,38|共4页
• 作者

  陈建群; 马以武; 唐力强; 王正宏;

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• 作者单位

  中国科学院,合肥智能机械研究所,传感技术国家重点实验室,安徽,合肥,230031;

  中国科学院,合肥智能机械研究所,传感技术国家重点实验室,安徽,合肥,230031;

  中国科学院,合肥智能机械研究所,传感技术国家重点实验室,安徽,合肥,230031;

  中国科学院,合肥智能机械研究所,传感技术国家重点实验室,安徽,合肥,230031;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 微电子学、集成电路（IC）;
• 关键词

  厚膜压阻式传感器; 导电性能; 掺杂改性; 灵敏系数;