谐振式MEMS磁传感器数字锁相放大器设计

著录项

• 来源
  《传感器与微系统》 |2019年第4期|86-8892|共4页
• 作者

  任泽龙; 刘松; 梁亨茂; 李宝清; 熊斌;

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• 作者单位

  中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室;

  上海200050;

  中国科学院大学;

  北京100049;

  中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室;

  上海200050;

  中国科学院大学;

  北京100049;

  中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室;

  上海200050;

  中国科学院大学;

  北京100049;

  中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室;

  上海200050;

  中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室;

  上海200050;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 TP212;
• 关键词

  谐振式微机电系统(MEMS)磁传感器; 相干解调; 数字锁相放大器; 正交解调;