局部高效的SEM下三维测量法*

易杰; 麻绍君; 钟凯; 李中伟; 刘苗; 曾鹏

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局部高效的SEM下三维测量法*

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cqvip:针对微纳尺度三维扫描电子显微镜(3D SEM)形貌测量方法的配套算法缺失,严重限制其应用的问题,提出了基于视差—深度映射的微纳尺度三维测量方法。首先,建立视差与样品表面深度信息的映射模型;通过引入极线校正算法用以保证视差求解准确性;基于光流估计来进行对应点的匹配,获得稠密准确的视差图,保证了三维数据质量与精度;最后为了证明本文的D2D-SEM微纳尺度三维形面测量方法的有效性,与微纳测试领域较为常用的超景深三维显微镜(VHX-6000,KEYENCE)对比,对样品进行了三维测量与表征。结果表明:所提方法有效可靠。

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来源
《传感器与微系统》 |2019年第11期|133-135|共3页
作者
易杰; 麻绍君; 钟凯; 李中伟; 刘苗; 曾鹏;
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作者单位

湖南工业职业技术学院湖南长沙410208;

华中科技大学材料成形与模具技术国家重点实验室湖北武汉430074;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类物理光学（波动光学）;
关键词
微纳测量; 视差—深度映射; 极线校准; 稠密视差获取;

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