纤毛-硅柱结构MEMS二维矢量水听器设计与制备方法

苗晋威; 杨沙沙; 齐秉楠; 乔庆宇; 刘国昌; 王任鑫

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纤毛-硅柱结构MEMS二维矢量水听器设计与制备方法

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微机电系统(MEMS)矢量水听器在使用中会受到平台运动、海浪、洋流等冲击的干扰从而影响对目标声源的探测。为实现水听器的精准探测,提出了一种纤毛-硅柱结构的可抑制振动噪声的矢量水听器。设计了一种力矩平衡结构,利用COMSOL软件对矢量水听器的参数构建有限元分析模型,并对其静态分析、模态分析以及谐响应分析仿真。结果表明:矢量水听器灵敏度为-184.35 dB;可在0~100 g n载荷内正常工作;在工作带宽20~1000 Hz内能有效降低振动噪声带来的干扰。随后提出一种基于MEMS技术的可批量制造工艺,可确保硅柱与水听器的一体化集成,可极大提高矢量水听器的一致性。

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来源
《传感器与微系统》 |2022年第3期|28-31|共4页
作者
苗晋威; 杨沙沙; 齐秉楠; 乔庆宇; 刘国昌; 王任鑫;
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作者单位

中北大学省部共建动态技术测试国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
矢量水听器; 微机电系统; 有限元分析; 振动抑制; 制造工艺;

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