基于半球谐振腔的微光学加速度计结构设计仿真研究

张婷; 杨波

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基于半球谐振腔的微光学加速度计结构设计仿真研究

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将微纳半球谐振腔与微机械加速度计结构相结合,设计了一种基于半球谐振腔的微光学加速度计。首先分析了微光学加速度计的基本工作原理,接着分析了反射膜和增透膜材料对微纳腔影响规律,并利用时域有限差分(FDTD)光学仿真软件进行仿真测试,研究了不同膜厚对谐振腔谐振效果的影响。最后基于光强解调原理,利用仿真软件得到光强信号与变化腔长的关系,实现了对输出光强信号的解调,从仿真角度验证了本方案的可行性。

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来源
《传感器与微系统》 |2022年第5期|44-47|共5页
作者
张婷; 杨波;
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作者单位

东南大学仪器科学与工程学院;

东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212.1;
关键词
半球腔; 微光学加速度计; 反射膜; 增透膜; 光强解调;

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