[1]微米/纳米加工技术重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海市北斗导航与位置服务重点实验室,上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,上海 200240;
[1]微米/纳米加工技术重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海市北斗导航与位置服务重点实验室,上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,上海 200240;
[1]微米/纳米加工技术重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海市北斗导航与位置服务重点实验室,上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,上海 200240;