用定容式气体流量计进行真空规校准方法的研究

赵澜; 张涤新

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用定容式气体流量计进行真空规校准方法的研究

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提出了一种采用定容式气体流量计校准真空规的方法,并对校准装置进行了不确定度的分析.定容式气体流量计有2种工作模式:采用定容法模式可以提供(10-8～10-2)Pa·m3/s的流量,采用固定流导法模式可以提供(10-6～10-11)Pa·m3/s的流量,2种方法组合提供的标准流量范围变宽,延伸了流量下限.定容式气体流量计相对于恒压式气体流量计,有结构简单、操作方便等特点.采用定容式气体流量计校准真空规的范围为(10-6～10-2)Pa,合成标准不确定度为(0.67～1.74)%.并用恒压式气体流量计校准同一分离规进行了比较,2个校准结果一致性好于5.7%.

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来源
《真空与低温》 |2008年第4期|202-207|共6页
作者
赵澜; 张涤新;
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作者单位

兰州物理研究所,甘肃,兰州,730000;

兰州物理研究所,甘肃,兰州,730000;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类真空测试技术;
关键词
定容式气体流量计; 校准; 真空规;

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