射频与直流磁控溅射制备DLC薄膜的工艺研究及特性对比

著录项

• 来源
  《真空与低温》 |2007年第3期|138-141|共4页
• 作者

  王淑占; 李合琴; 赵之明; 巫邵波; 顾金宝; 宋泽润;

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• 作者单位

  合肥工业大学,材料科学与工程学院,安徽,合肥,230009;

  合肥工业大学,材料科学与工程学院,安徽,合肥,230009;

  合肥工业大学,材料科学与工程学院,安徽,合肥,230009;

  合肥工业大学,材料科学与工程学院,安徽,合肥,230009;

  合肥工业大学,材料科学与工程学院,安徽,合肥,230009;

  中国电子科技集团公司,43研究所,安徽,合肥,230022;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 薄膜技术;
• 关键词

  类金刚石薄膜; 射频磁控溅射; 直流磁控溅射; 拉曼光谱; 扫描电镜;