一种新型组合谐振腔微波等离子体炬

王彬彬; 丁海兵; 吉忠浩; 陆登峰

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一种新型组合谐振腔微波等离子体炬

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微波等离子体电子密度大,电子温度高,在材料合成、有害气体消解、光谱分析等领域有着广泛的应用前景。本文提出了一种新型的组合谐振腔微波等离子体炬,利用一个微波源通过功分器后分别激励两个不同的谐振腔,微波馈入谐振腔后,在谐振腔内产生驻波,在驻波波腹处电场强度最大完成等离子体的激发,实现在较小微波输入功率、大气压下的空气击穿并形成大体积的等离子体火焰。通过对谐振腔结构尺寸优化,使谐振腔内的电场强度达到激励和维持微波等离子体的要求。

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来源
《真空电子技术》 |2023年第4期|21-25|共5页
作者
王彬彬; 丁海兵; 吉忠浩; 陆登峰;
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作者单位

中国科学院空天信息创新研究院;

中国科学院大学电子电气与通信工程学院;

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正文语种 chi
中图分类等离子体器件;
关键词
微波等离子体; 谐振腔; 空气击穿; 电磁仿真; 多物理场;

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