微束斑X射线源电子光学系统设计与数值模拟

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• 来源
  《真空电子技术》 |2008年第5期|25-28|共4页
• 作者

  刘记; 范玉锋;

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• 作者单位

  西安交通大学,电子物理与器件教育部重点实验室,陕西西安,710049;

  西安交通大学,电子物理与器件教育部重点实验室,陕西西安,710049;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 设计和计算;
• 关键词

  微束斑X射线源; 数值模拟; 结构优化;