基于表面微机械和压电薄膜技术的新型微谐振器

邹英寅; 王跃林

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基于表面微机械和压电薄膜技术的新型微谐振器

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一种基于表面微机械和压电薄膜技术的体声波器件新结构，是在多晶硅膜片上演积氧化锌（ZnO）压电薄膜。ZnO膜是在c轴采用S枪磁控反应溅射定向生长，而多晶硅膜片采用表面微机械技术制备。采用平面工艺，对氧化牺牲层化学蚀刻和照像腐蚀，制得表面微结构，其性能与在硅膜片上各向异性的传统制作工艺比较，在制作简易性、生产量和可靠性方面都有重大进展。已制成的微谐振器尺寸为15μm×150μm和250μm×250μm，其谐振频率为559．05MHz。

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来源
《真空科学与技术学报》 |1994年第4期|307-308|共2页
作者
邹英寅; 王跃林;
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作者单位

浙江大学信息与电子工程学系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类振荡技术、振荡器;
关键词
谐振器; 体声波器件; 表面微机械; 压电薄膜;

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