Ti-N薄膜与钢基体界面显微结构的透射电镜研究

郭丽萍; 黄荣芳; 闻立时; 庄育智

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用透射电镜分别研究了空心阴极离子镀加Ti底层和不加Ti底层的Ti-N薄膜与不锈钢和高速钢基体之间界面的显微结构。在较厚Ti底层与不锈钢基体间的界面上有厚约20nm的FeTi界面层,Ti底层由具有[0001]取向的α-Ti相组成,TeTi相有[311]、[310]、[321]、[320]等几种择优取向。此外,较薄Ti底层与不锈钢基体间的界面比较光滑,界面层很薄。在基体温度为500℃时镀得的加Ti底层的Ti-N膜与高速钢基体的界面上,也观察到了Ti底层。它由细小的α-Ti晶粒组成,其中弥散分布着一些TiC的微小晶粒。在邻近膜/基界面的基体内断续分布着一些FeTi相的晶粒。在不加Ti底层的Ti-N膜与高速钢基体的界面上,观察到了TiN晶粒在基体中的碳化物MC(VC)上的外延生长,它们之间存在[310]_(vc)∥[100]_(TiN)的晶体学取向关系。与此类似,在高速钢中马氏体的晶粒上也外延生长出了TiN晶粒。在M_6C上生长的TiN初始晶粒很小,晶界不清晰。TiN与高速钢中碳化物和马氏体间的界面均较光滑,未观察到界面相。

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来源
《真空科学与技术学报》 |1993年第5期|322-329|共8页
作者
郭丽萍; 黄荣芳; 闻立时; 庄育智;
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作者单位

中国科学院金属研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类喷镀法;
关键词
氮化钛; 薄膜; TEM; 离子镀; 钢;

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