热处理对MIM薄膜二极管Ta_2O_5绝缘膜微结构及其IU特性的影响

黄蕙芬; 唐泽荣; 钟锐; 张浩康

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制备了一种用于有源矩阵液晶显示、具有对称结构的MIM薄膜二极管 ,其中Ta2 O5膜采用溅射 /阳极氧化两步法工艺制成。对绝缘膜进行真空热处理 (一步热处理 )和经真空热处理后再进行大气热处理 (真空 /大气两步热处理 )。用原子力显微镜和透射电子显微镜分析了Ta2 O5膜的微结构 ,测试了MIM薄膜二极管的I U特性曲线。讨论了热处理对Ta2 O5绝缘膜微结构和MIM薄膜二极管I U特性的影响 ,并指出了MIM薄膜二极管I

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来源
《真空科学与技术学报》 |1999年第6期|461-465|共5页
作者
黄蕙芬; 唐泽荣; 钟锐; 张浩康;
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作者单位

东南大学电子工程系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN311.5;
关键词
热处理; MIM; 薄膜二极管; 微结构; I-U特性;

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