响应面优化氢气还原ITO废靶的研究

刘鸿飞; 殷亮; 朱刘

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cqvip:研究了氢气还原ITO废靶工艺的条件,考察了温度、时间以及氢气流量对还原率的影响。通过响应曲面实验设计,建立了氢气还原ITO废靶过程的回归模型,此模型能较好的反映还原率与多个影响因素之间的关系。经过优化所获得的实验条件为:温度800℃、时间120min、氢气流量3L/min,在此工艺条件下的还原率达96.48%,与模型预测值相近。

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来源
《价值工程》 |2020年第12期|247-248|共2页
作者
刘鸿飞; 殷亮; 朱刘;
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作者单位

国家稀散金属工程技术研究中心广东先导稀材股份有限公司清远511517;

广东省高性能薄膜太阳能材料企业重点实验室清远先导材料有限公司清远511517;

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正文语种 chi
中图分类稀土金属冶炼;
关键词
ITO废靶; 响应曲面法; 铟锡合金;

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