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【2h】

Estimation of Air Damping in Out-of-Plane Comb-Drive Actuators

机译：平面外梳齿驱动器空气阻尼的估算

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摘要

The development of new compliant resonant microsystems and the trend towards further miniaturization have recently raised the issue of the accuracy and reliability of computational tools for the estimation of fluid damping. Focusing on electrostatically actuated torsional micro-mirrors, a major dissipation contribution is linked to the constrained flow of air at comb fingers. In the case of large tilting angles of the mirror plate, within a period of oscillation the geometry of the air domain at comb-drives gets largely distorted, and the dissipation mechanism is thereby affected. In this communication, we provide an appraisal of simple analytical solutions to estimate the dissipation in the ideal case of air flow between infinite plates, at atmospheric pressure. The results of numerical simulations are also reported to assess the effect on damping of the finite size of actual geometries.
机译：新的顺应性共振微系统的发展以及进一步小型化的趋势最近提出了用于估计流体阻尼的计算工具的准确性和可靠性问题。着眼于静电驱动的扭转微镜，主要的耗散贡献与梳齿上受约束的气流有关。在镜板的大倾斜角度的情况下，在振荡周期内，梳状驱动器处的空气域的几何形状大大变形，从而影响了耗散机构。在此交流中，我们提供了一种简单分析解决方案的评估，以估算在大气压下无限板之间理想气流情况下的耗散。还报告了数值模拟的结果，以评估对实际几何形状的有限大小的阻尼的影响。

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