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Surface acoustic wave humidity sensors based on uniform and thickness controllable graphene oxide thin films formed by surface tension

机译：基于由表面张力形成的均匀且可控制厚度的氧化石墨烯薄膜的声表面波湿度传感器

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摘要

Graphene oxide (GO) is a promising candidate for humidity sensing, and the uniformity and thickness of GO films are important for the reproducibility and test signal strength of humidity sensors. In this paper, uniform and thickness-controllable GO films are first formed by the surface tension of different concentrations of GO solution and then transferred to surface acoustic wave (SAW) humidity sensors. This GO film formation and transfer process has very good repeatability and stability, as evidenced by the humidity response of the sensors. With the help of the uniform and highly oxidized GO film, the humidity sensors show a significantly high sensitivity (absolute sensitivity of 25.3 kHz/%RH and relative sensitivity of 111.7 p.p.m./%RH) in a wide test range from 10%RH to 90%RH with very little hysteresis (<1%RH). The sensors achieve good reversibility, excellent short-term repeatability and stability. Moreover, the humidity sensors also show a fast response and recovery time of <10 s.
机译：氧化石墨烯（GO）是用于湿度传感的有前途的候选材料，GO薄膜的均匀性和厚度对于湿度传感器的再现性和测试信号强度至关重要。在本文中，首先通过不同浓度的GO溶液的表面张力形成均匀且可控制厚度的GO膜，然后将其转移到表面声波（SAW）湿度传感器中。 GO膜的形成和转移过程具有非常好的可重复性和稳定性，如传感器的湿度响应所证明。借助于均匀且高度氧化的GO膜，湿度传感器在10％RH至90％的宽测试范围内显示出极高的灵敏度（绝对灵敏度为25.3 kHz /％RH，相对灵敏度为111.7 ppm /％RH）。 ％RH，几乎没有磁滞（<1％RH）。传感器具有良好的可逆性，出色的短期重复性和稳定性。此外，湿度传感器还显示出<10 ands的快速响应和恢复时间。

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