Al2O3 ALD ellipsometry PE-ALD XPS;
机译:热和等离子体增强原子层沉积的Al2O3膜的椭偏和XPS比较研究
机译:自制等离子体增强原子层沉积La_2O_3 / ZrO_2双层薄膜的XPS研究
机译:Si和6h-SiC上的等离子体增强原子层沉积的LA_2O_3超薄薄膜:比较研究
机译:等离子体增强原子层沉积沉积的TiO_2薄膜结构和电特性的比较研究及RF溅射
机译:GaN上等离子增强原子层沉积介电层的界面电子状态表征。
机译:通过原位光谱椭圆偏振法在金属氧化物薄膜的等离子体增强原子层沉积过程中发现前体-表面相互作用
机译:椭偏仪和Xps比较研究热和等离子体增强原子层沉积al 2 sub> O 3 sub> -films