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Depth Resolution During C60+ Profiling of Multilayer Molecular Films

机译：多层分子膜的C60 +成型过程中的深度分辨率

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Time-of-flight secondary ion mass spectrometry is utilized to characterize the response of Langmuir–Blodgett (LB) multilayers under the bombardment by buckminsterfullerene primary ions. The LB multilayers are formed by barium arachidate and barium dimyristoyl phosphatidate on a Si substrate. The unique sputtering properties of the C60 ion beam result in successful molecular depth profiling of both the single component and multilayers of alternating chemical composition. At cryogenic (liquid nitrogen) temperatures, the high mass signals of both molecules remain stable under sputtering, while at room temperature, they gradually decrease with primary ion dose. The low temperature also leads to a higher average sputter yield of molecules. Depth resolution varies from 20 to 50 nm and can be reduced further by lowering the primary ion energy or by using glancing angles of incidence of the primary ion beam.
机译：飞行时间二次离子质谱法用于表征巴克敏斯特富勒烯一次离子轰击下的Langmuir-Blodgett（LB）多层膜的响应。 LB多层膜由花生四烯酸钡和磷脂酰二肉豆蔻酸钡在Si衬底上形成。 C60离子束的独特溅射性能可导致化学成分交替的单组分和多层分子成功进行分子深度分析。在低温（液氮）温度下，两个分子的高质量信号在溅射下均保持稳定，而在室温下，它们随一次离子剂量逐渐降低。低温还导致分子的平均溅射产率更高。深度分辨率从20到50 nm不等，可以通过降低初级离子能量或通过使用初级离子束的入射角来进一步降低分辨率。

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