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【2h】

A Micromachined Metal Oxide Composite Dual Gas Sensor System for Principal Component Analysis-Based Multi-Monitoring of Noxious Gas Mixtures

机译：基于主成分分析的有毒气体混合物多监测的微机械金属氧化物复合双气体传感器系统

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Microelectronic gas-sensor devices were developed for the detection of carbon monoxide (CO), nitrogen dioxides (NO ), ammonia (NH ) and formaldehyde (HCHO), and their gas-sensing characteristics in six different binary gas systems were examined using pattern-recognition methods. Four nanosized gas-sensing materials for these target gases, i.e., Pd-SnO for CO, In O for NO , Ru-WO for NH , and SnO -ZnO for HCHO, were synthesized using a sol-gel method, and sensor devices were fabricated using a microsensor platform. Principal component analysis of the experimental data from the microelectromechanical systems gas-sensor arrays under exposure to single gases and their mixtures indicated that identification of each individual gas in the mixture was successful. Additionally, the gas-sensing behavior toward the mixed gas indicated that the traditional adsorption and desorption mechanism of the n-type metal oxide semiconductor (MOS) governs the sensing mechanism of the mixed gas systems.
机译：开发了用于检测一氧化碳（CO），二氧化氮（NO），氨（NH）和甲醛（HCHO）的微电子气体传感器设备，并使用模式-检测了它们在六种不同的二元气体系统中的气敏特性识别方法。使用溶胶-凝胶法合成了用于目标气体的四种纳米级气敏材料，即用于CO的Pd-SnO，用于NO的In O，用于NH的Ru-WO和用于HCHO的SnO -ZnO，并且传感器装置为使用微传感器平台制造。在暴露于单一气体及其混合物的情况下，对来自微机电系统气体传感器阵列的实验数据进行主成分分析表明，成功识别了混合物中的每种气体。此外，对混合气体的气体传感行为表明，n型金属氧化物半导体（MOS）的传统吸附和解吸机理决定了混合气体系统的传感机理。

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