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【2h】

Fabrication and Characterization of Flexible Thermoelectric Generators Using Micromachining and Electroplating Techniques

机译：利用微加工和电镀技术制造和表征柔性热电发电机

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摘要

This study involves the fabrication and measurement of a flexible thermoelectric generator (FTG) using micromachining and electroplating processes. The area of the FTG is 46 × 17 mm , and it is composed of 39 thermocouples in series. The thermoelectric materials that are used for the FTG are copper and nickel. The fabrication process involves patterning a silver seed layer on the polymethyl methacrylate (PMMA) substrate using a computer numerical control (CNC) micro-milling machine. Thermoelectric materials, copper and nickel, are deposited on the PMMA substrate using an electroplating process. An epoxy polymer is then coated onto the PMMA substrate. Acetone solution is then used to etch the PMMA substrate and to transfer the thermocouples to the flexible epoxy film. The FTG generates an output voltage (OV) as the thermocouples have a temperature difference (Δ ) between the cold and hot parts. The experiments show that the OV of the FTG is 4.2 mV at Δ of 5.3 K and the output power is 429 nW at Δ of 5.3 K. The FTG has a voltage factor of 1 μV/mm K and a power factor of 19.5 pW/mm K . The FTG reaches a curvature of 20 m .
机译：这项研究涉及使用微加工和电镀工艺制造和测量柔性热电发生器（FTG）。 FTG的面积为46×17 mm，由39个串联的热电偶组成。用于FTG的热电材料是铜和镍。该制造过程包括使用计算机数控（CNC）微铣床在聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）基板上构图银籽晶层。使用电镀工艺将铜和镍等热电材料沉积在PMMA基板上。然后将环氧聚合物涂覆到PMMA基材上。然后使用丙酮溶液蚀刻PMMA基板，并将热电偶转移到柔性环氧膜上。当热电偶在冷和热部分之间具有温度差（Δ）时，FTG会产生输出电压（OV）。实验表明，在5.3 K时，FTG的OV为4.2 mV，在5.3 K时，输出功率为429nW。FTG的电压因数为1μV/ mm K，功率因数为19.5 pW /毫米FTG的曲率达到20 m。

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