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Experimental Investigation on Rotating Electrochemical Etching of a Micro Spiral Cylindrical Electrode

机译：微螺旋圆柱电极旋转电化学刻蚀的实验研究

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To realize the electrochemical etching of a micro spiral cylindrical electrode, a new method of rotating electrochemical etching is proposed, and its process is further studied. First, according to the electrochemical etching principle, the machining mechanism of rotating electrochemical etching of a micro spiral cylindrical electrode is introduced. Second, based on the spiral vortex theory in the Taylor-Couette system, the effect of the high-speed rotating cylindrical microelectrode on its external flow field is analyzed. Third, the effects of rotation direction, rotation speed, machining voltage, and machining time on the thread structure are analyzed by experiments. Finally, a spiral cylindrical microelectrode with good surface thread shape is fabricated within two minutes by using the optimized machining parameters. It is proved that the rotating electrochemical etching method is an easy way to fabricate a micro spiral cylindrical electrode with high efficiency and low cost.
机译：为了实现微螺旋圆柱电极的电化学刻蚀，提出了一种旋转电化学刻蚀的新方法，并对其工艺进行了深入研究。首先，根据电化学刻蚀原理，介绍了微螺旋圆柱电极旋转电化学刻蚀的加工机理。其次，基于泰勒-库埃特系统中的涡旋理论，分析了高速旋转圆柱微电极对其外部流场的影响。第三，通过实验分析了旋转方向，转速，加工电压和加工时间对螺纹结构的影响。最后，通过使用优化的加工参数，在两分钟内制造出具有良好表面螺纹形状的螺旋圆柱形微电极。实践证明，旋转电化学刻蚀法是一种高效，低成本地制造微螺旋圆柱电极的简便方法。

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