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Magnetostrictive Performance of Electrodeposited TbxDy(1−x)Fey Thin Film with Microcantilever Structures

机译:具有微悬臂结构的电沉积TbxDy(1-x)Fey薄膜的磁致伸缩性能

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摘要

The microfabrication with a magnetostrictive Tb Dy Fe thin film for magnetic microactuators is developed, and the magnetic and magnetostrictive actuation performances of the deposited thin film are evaluated. The magnetostrictive thin film of Tb Dy Fe is deposited on a metal seed layer by electrodeposition using a potentiostat in an aqueous solution. Bi-material cantilever structures with the Tb Dy Fe thin-film are fabricated using microfabrication, and the magnetic actuation performances are evaluated under the application of a magnetic field. The actuators show large magnetostriction coefficients of approximately 1250 ppm at a magnetic field of 11000 Oe.
机译:开发了用于磁微致动器的具有磁致伸缩Tb Dy Fe薄膜的微细加工,并评估了沉积薄膜的磁致伸缩性能。通过在水溶液中使用恒电位仪进行电沉积,将Tb Dy Fe的磁致伸缩薄膜沉积在金属籽晶层上。使用微细加工技术制造了具有Tb Dy Fe薄膜的双材料悬臂结构,并在磁场作用下评估了磁致动性能。执行器在11000 Oe的磁场中显示出大约1250 ppm的大磁致伸缩系数。

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