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【24h】

Microtexture and Grain Boundaries in Freestanding CVD Diamond Films: Growth and Twinning Mechanisms

机译：独立式CVD金刚石膜中的微纹理和晶粒边界：生长和孪生机理

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Three groups of free-standing chemical vapor deposition (CVD) diamond films formed with variations in substrate temperature, methane concentration, and film thickness are analyzed using high-resolution electron back-scattering diffraction. Primarily {001}, {110}, and {111} fiber textures are observed. In addition, corresponding primary and higher order twinning components are found. As interfaces, high angle, low angle, primary twin, and secondary twin boundaries are observed. A growth and a twinning model are proposed based on the sp~3 hybridization of the bond in the CH_4 molecule that is used as the deposition medium.
机译：使用高分辨率电子背散射衍射分析了三组独立的化学气相沉积（CVD）金刚石膜，这些膜在衬底温度，甲烷浓度和膜厚度上均发生了变化。主要观察到{001}，{110}和{111}纤维质地。另外，找到了相应的一次和更高阶孪生组分。作为界面，观察到大角度，小角度，一次孪生和二次孪生边界。基于用作沉积介质的CH_4分子中键的sp〜3杂交，提出了一种生长和孪生模型。

著录项

  • 来源
    《Advanced Functional Materials》 |2009年第24期|3880-3891|共12页
  • 作者

    Tao Liu; Dierk Raabe; Weimin Mao; Stefan Zaefferer;

  • 作者单位

    Max-Planck-Institut fuer Eisenforschung Abteilung Mikrostrukturphysik und Umformtechnik 40237 Duesseldorf (Germany);

    Max-Planck-Institut fuer Eisenforschung Abteilung Mikrostrukturphysik und Umformtechnik 40237 Duesseldorf (Germany);

    Department of Materials University of Science and Technology Beijing 100083 Beijing (P. R. China);

    Max-Planck-Institut fuer Eisenforschung Abteilung Mikrostrukturphysik und Umformtechnik 40237 Duesseldorf (Germany);

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