Two-dimensional surface profile imaging technique based on a double-grating frequency shifter

Wang KW; Zeng LJ

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Two-dimensional surface profile imaging technique based on a double-grating frequency shifter

机译：基于双光栅移频器的二维表面轮廓成像技术

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A two-dimensional surface profile imaging technique that uses a low-coherence heterodyne interferometer is proposed. A double-grating frequency shifter was used in a tandem interferometer to provide the achromatic frequency shift for low-coherence light. A chopper, together with a processing circuit, was implemented to modulate the interference fringes. The surface profile was measured from the interference fringes taken by a CCD camera using a five-step method. The uncertainty in the displacement measurement is 0.34 mu m for a displacement range of 43 mu m. The surface profile of a glass sample with low effective reflectivity was acquired. (c) 2005 Optical Society of America.

机译：提出了一种使用低相干外差干涉仪的二维表面轮廓成像技术。串联干涉仪中使用了双光栅移频器，以为低相干光提供消色差频移。斩波器与处理电路一起用于调制干涉条纹。使用五步法从CCD相机拍摄的干涉条纹测量表面轮廓。对于43微米的位移范围，位移测量的不确定度为0.34微米。获得了具有低有效反射率的玻璃样品的表面轮廓。（c）2005年美国眼镜学会。

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来源
《Applied Optics》 |2005年第22期|p. 4625-4630|共6页
作者
Wang KW; Zeng LJ;
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作者单位

Tsing Hua Univ, State Key Lab Precis Measurement Technol & Instru, Dept Precis Instruments, Beijing 100084, Peoples R China;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类光学;
关键词
WHITE-LIGHT INTERFEROMETER; HETERODYNE INTERFEROMETER; REFRACTIVE-INDEX; HIGH-SENSITIVITY;

机译：白光干涉仪;异戊二烯干涉仪;折光指数;高灵敏度;

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