A novel NO_2 gas sensor based on Hall effect operating at room temperature

J. Y. Lin; W. M. Xie; X. L. He; H. C. Wang

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A novel NO_2 gas sensor based on Hall effect operating at room temperature

机译：基于霍尔效应的新型NO_2气体传感器在室温下运行

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Tungsten trioxide nanoparticles were obtained by a simple thermal oxidation approach. The structural and morphological properties of these nanoparticles are investigated using XRD, SEM and TEM. A WO_3 thick film was deposited on the four Au electrodes to be a WO_3 Hall effect sensor. The sensor was tested between magnetic field in a plastic test chamber. Room-temperature nitrogen dioxide sensing characteristics of Hall effect sensor were studied for various concentration levels of nitrogen dioxide at dry air and humidity conditions. A typical room-temperature response of 3.27 was achieved at 40 ppm of NO_2 with a response and recovery times of 36 and 45 s, respectively. NO_2 gas sensing mechanism of Hall effect sensor was also studied. The room-temperature operation, with the low deposition cost of the sensor, suggests suitability for developing a low-power cost-effective nitrogen dioxide sensor.

机译：通过简单的热氧化方法获得了三氧化钨纳米颗粒。使用XRD，SEM和TEM研究了这些纳米粒子的结构和形态特性。将WO_3厚膜沉积在四个Au电极上，作为WO_3霍尔效应传感器。在塑料测试室内的磁场之间对传感器进行了测试。研究了霍尔效应传感器在干燥空气和湿度条件下各种浓度的二氧化氮的室温二氧化氮传感特性。在40 ppm的NO_2下，典型的室温响应为3.27，响应和恢复时间分别为36和45 s。研究了霍尔效应传感器的NO_2气体传感机理。室温下运行，且传感器的沉积成本较低，这表明适合开发低功耗，经济高效的二氧化氮传感器。

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来源
《Applied Physics》 |2016年第9期|801.1-801.6|共6页
作者
J. Y. Lin; W. M. Xie; X. L. He; H. C. Wang;
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作者单位

School of Information Science and Engineering, Fujian University of Technology, Fuzhou 350108, Fujian, China;

School of Information Science and Engineering, Fujian University of Technology, Fuzhou 350108, Fujian, China;

School of Information Science and Engineering, Fujian University of Technology, Fuzhou 350108, Fujian, China;

School of Information Science and Engineering, Fujian University of Technology, Fuzhou 350108, Fujian, China;

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收录信息美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);美国《生物学医学文摘》(MEDLINE);
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